真空微型探針臺(tái)應(yīng)用與半導(dǎo)體測(cè)試變溫真空腔探針臺(tái)系統(tǒng)方案:高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中。
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真空微型探針臺(tái)應(yīng)用與半導(dǎo)體測(cè)試變溫真空腔探針臺(tái)系統(tǒng)方案:高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中。
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